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201611246505.1-一种基于碳化硅光纤F-P谐振腔的振动加速度传感装置

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申请人: 武汉理工大学申请日: 2016-12-29 主分类号: B81B3/00 公开号: 106672887B 公开日: 2018-05-01 授权日: 2018-05-01 分类号: B81B3/00 ; B81B7/00 ; B81B7/02

摘要: 本发明涉及光纤传感装置技术领域，具体指一种基于碳化硅光纤F‑P谐振腔的振动加速度传感装置；包括封装壳体、陶瓷基座、蓝宝石光纤和振动敏感片，陶瓷基座固设于封装壳体内，陶瓷基座的上端面上设有方形的固定凹槽，振动敏感片嵌设于固定凹槽的上端开口内；所述陶瓷基座的下端设有贯通固定凹槽的中心通孔，蓝宝石光纤穿设于中心通孔内且蓝宝石光纤的上端面与振动敏感片间隔设置构成光纤F‑P谐振腔；本发明结构合理，采用碳化硅基四悬臂结构的振动敏感片封装在氧化锆陶瓷基座上，与蓝宝石光纤端面间隔构成光纤F‑P谐振腔，可实现超高温环境下的振动或加速度检测，整体结构本征安全、测量范围大、测量精度高。

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201710253272.6-新型的电极结构和多功能传感器阵列及使用他们的多功能传感装置

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申请人: 北京纳米能源与系统研究所申请日: 2017-04-18 主分类号: B81B3/00 公开号: 108726466A 公开日: 2018-11-02 分类号: B81B3/00 ; B81B7/00 ; B81B7/02

摘要: 本发明提供了电极结构阵列、包括该电极结构阵列和传感器的多功能传感器阵列以及包括他们的各种传感装置。电极结构阵列包括第一电极层和第二电极层，第一电极层包括在该层内平铺的一个以上彼此平行的具有第一电极图案的绝缘基底和形成在该基底上的导电层，第一电极图案包括一个或多个能沿第一方向拉伸的第一可拉伸结构和一个或多个第一接线端，其中第一可拉伸结构与第一接线端交替相连，第二电极层包括在该层内平铺的一个以上彼此平行的具有第二电极图案的绝缘基底和形成在该基底上的导电层，第二电极图案包括一个或多个能沿第二方向拉伸的第二可拉伸结构和一个或多个第二接线端，其中第二可拉伸结构与第二接线端交替相连。

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01122015.5-膜片的制造

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申请人: 兰道克斯实验有限公司

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申请日: 2001-06-22 主分类号: B81B3/00 公开号: 1330034A 公开日: 2002-01-09 授权日: 2005-12-07 分类号: B81B3/00 ; B81B7/00

摘要: 一种在圆片中蚀刻出空腔之后,利用精密磨削技术制造膜片的方法。公开了一种基于多孔硅牺牲层的使用,防止膜片变形的技术。

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200410020407.7-步进式全方位纳米移动平台

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申请人: 中国科学院沈阳自动化研究所申请日: 2004-04-16 主分类号: B81B3/00 公开号: 1683233A 公开日: 2005-10-19 授权日: 2008-05-14 分类号: B81B3/00 ; B81B5/00

摘要: 本发明涉及微器件装配技术，具体地说是一种用于微加工和生物细胞操作等的步进式全方位纳米移动平台。它由上平台，三组压电驱动器组成，上平台与三组压电驱动器通过弹性铰链连接，三组压电驱动器沿上平台圆周成120°等间隔布置；所述每组压电驱动器至少包括一个驱动单元，二个以上驱动单元为串联布置；所述每个驱动单元由二个压电陶瓷，一个横梁及一个接触元件组成，二个压电陶瓷上端与上平台用弹性铰链连接，下端与横梁固连，接触元件与横梁固连于下方；所述每个压电陶瓷接有控制电路，通过通讯电路与计算机进行无线通讯。采用本发明不仅可以实现平面全方位纳米运动，而且能提高机构的精度和灵活性。

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201811196917.8-一种微机械静电驱动的直线型梳齿结构

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申请人: 北京航天控制仪器研究所申请日: 2018-10-15 主分类号: B81B3/00 公开号: 109399549A 公开日: 2019-03-01 分类号: B81B3/00 ; B81B7/02

摘要: 一种微机械静电驱动的直线型梳齿结构，涉及微机械静电驱动技术领域；包括n组相同的直线形梳齿组；n组直线形梳齿组水平均匀分布在外部器件的水平侧壁上；每组直线形梳齿组包括静梳齿和动梳齿；静梳齿和动梳齿为交错配合的E型结构；在外部静电的驱动下；动梳齿沿外部器件的水平侧壁，相对静梳齿进行靠近或远离的直线运动；静梳齿与动梳齿配合时，第一动电极伸入第一定电极和第二定电极之间；第二动电极伸入第二定电极和第三定电极之间；第三动电极设置在第三定电极之间外侧；本发明实现了在于传统技术同样的真空环境和驱动电压下，得到更大的驱动行程，且未增加工艺难度。

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01137700.3-空化元晶格网

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申请人: 罗博生申请日: 2001-11-22 主分类号: B81B7/04 公开号: 1353082A 公开日: 2002-06-12 分类号: B81B7/04 ; B81B7/00

摘要: 本发明为一种具有微观晶格结构的网体,网体是由空化元构件,用连接件,按一定的晶格方式排列连接而成。由于空化元构件的空间特性,以及按晶格规律分布,在与其它材料合成时,形状制作简便,接触面大、牢固,结构受力分布均匀,强度高,以及空化质轻等,可用于材料复合、建筑、壳体合成等方面。

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200410020675.9-一种电热驱动柔性微夾钳

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申请人: 大连理工大学申请日: 2004-06-04 主分类号: B81B5/00 公开号: 1704329A 公开日: 2005-12-07 授权日: 2007-06-06 分类号: B81B5/00 ; B81B3/00

摘要: 本发明一种电热驱动柔性微夾钳，属于微机电系统领域中的微执行器类。电热驱动柔性微夾钳由驱动和钳体两部分组成，驱动部分为V形梁阵列。微夹钳钳体结构为一整体柔性结构，它由钳体固定部分、电极、柔性铰、柔性铰、连接杆、柔性铰、钳臂、夹持端、V形梁阵列、钳体中间上部、下部不同的几何形体构成，无需任何装配。钳体的中间上部由两个半圆环状通过三条筋板状结构相连并与杆状钳体中间下部相连，钳体的中间上部和中间下部可以改变为多种形状。这种微夾钳结构紧凑，控制简单，输出位移大，可用于微操作和微装配中。

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02150667.1-具有阶跃式结构的悬臂及其制造方法

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申请人: 三星电子株式会社申请日: 2002-11-15 主分类号: B81B7/00 公开号: 1429762A 公开日: 2003-07-16 授权日: 2006-11-01 分类号: B81B7/00 ; B81B7/02

摘要: 本发明提供了一种具有阶跃式结构的悬臂及其制造方法。这种悬臂包括：一个衬底；一个形成于该衬底上的锚固件；和一块被连接在锚固件上同时保持与衬底的预定间隙的移动板，其中，所述锚固件包括有一个具有预定形状的第一锚固件和一个第二锚固件，该第二锚固件垂直于第一锚固件的一个边缘，并且沿所述移动板的纵轴成形。这种悬臂的形变量，比如由于制造过程中的高温高压导致的该悬臂的移动板的形变量明显减小。从而，这种悬臂的屈服率得以改善，并且采用这种悬臂的制品的可靠性也得以提高。

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03801744.X-反射式空间光调节器的制造

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申请人: 明锐有限公司

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申请日: 2003-05-30 主分类号: B81B7/04 公开号: 1610644A 公开日: 2005-04-27 授权日: 2007-08-01 分类号: B81B7/04 ; B81B5/00

摘要: 一种包括微镜阵列的反射式空间光调节器的制造。在一个实施例中，微镜阵列是通过仅使用两个主要蚀刻步骤由单晶材料的衬底制造而成的。第一步蚀刻在材料的第一侧中形成空穴。第二步蚀刻形成支持柱、垂直铰链和镜板。在第一和第二步蚀刻之间，可以将衬底压焊到寻址和控制电路上。

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201711204369.4-压力传感器封装件和包括压力传感器封装件的电子装置

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申请人: 森托斯有限公司

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申请日: 2017-11-27 主分类号: B81B7/00 公开号: 109553060A 公开日: 2019-04-02 分类号: B81B3/00 ; B81B7/00

摘要: 根据本发明构思的实施例，提供一种可以设置在电子装置的内部空间中的压力传感器封装件。所述压力传感器封装件可以包括：基板，其中限定有孔；压力传感器，其设置在基板的一个表面上以覆盖所述孔，并且所述压力传感器包括膜；以及绝缘体，其设置在压力传感器上以覆盖所述膜的至少一部分。压力传感器设置为检测由流过所述孔的空气所引起的电子装置的内部空间的第一压力，并且通过绝缘体检测由施加到电子装置的外力所引起的第二压力。

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