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201710253272.6-新型的电极结构和多功能传感器阵列及使用他们的多功能传感装置
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申请人: 北京纳米能源与系统研究所 申请日: 2017-04-18 主分类号: B81B3/00 公开号: 108726466A 公开日: 2018-11-02 分类号: B81B3/00 ; B81B7/00 ; B81B7/02
摘要: 本发明提供了电极结构阵列、包括该电极结构阵列和传感器的多功能传感器阵列以及包括他们的各种传感装置。电极结构阵列包括第一电极层和第二电极层，第一电极层包括在该层内平铺的一个以上彼此平行的具有第一电极图案的绝缘基底和形成在该基底上的导电层，第一电极图案包括一个或多个能沿第一方向拉伸的第一可拉伸结构和一个或多个第一接线端，其中第一可拉伸结构与第一接线端交替相连，第二电极层包括在该层内平铺的一个以上彼此平行的具有第二电极图案的绝缘基底和形成在该基底上的导电层，第二电极图案包括一个或多个能沿第二方向拉伸的第二可拉伸结构和一个或多个第二接线端，其中第二可拉伸结构与第二接线端交替相连。
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201611246505.1-一种基于碳化硅光纤F-P谐振腔的振动加速度传感装置
不可售 已下证 PDF全文
申请人: 武汉理工大学 申请日: 2016-12-29 主分类号: B81B3/00 公开号: 106672887B 公开日: 2018-05-01 授权日: 2018-05-01 分类号: B81B3/00 ; B81B7/00 ; B81B7/02
摘要: 本发明涉及光纤传感装置技术领域，具体指一种基于碳化硅光纤F‑P谐振腔的振动加速度传感装置；包括封装壳体、陶瓷基座、蓝宝石光纤和振动敏感片，陶瓷基座固设于封装壳体内，陶瓷基座的上端面上设有方形的固定凹槽，振动敏感片嵌设于固定凹槽的上端开口内；所述陶瓷基座的下端设有贯通固定凹槽的中心通孔，蓝宝石光纤穿设于中心通孔内且蓝宝石光纤的上端面与振动敏感片间隔设置构成光纤F‑P谐振腔；本发明结构合理，采用碳化硅基四悬臂结构的振动敏感片封装在氧化锆陶瓷基座上，与蓝宝石光纤端面间隔构成光纤F‑P谐振腔，可实现超高温环境下的振动或加速度检测，整体结构本征安全、测量范围大、测量精度高。
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201810325984.9-保护MEMS单元免受红外线检查的方法和MEMS单元
不可售 审查中 PDF全文
申请人: 罗伯特·博世有限公司 申请日: 2018-04-12 主分类号: B81B7/02 公开号: 108726472A 公开日: 2018-11-02 分类号: B81B7/00 ; B81B7/02
摘要: 提出一种用于保护MEMS单元免遭红外线检查的方法，其中至少一个层被装入到所述MEMS单元的结构中或者至少一个层被施加到所述MEMS单元的表面上。在此，通过所述至少一个层将多于50%的、尤其是多于90%的入射到所述层上的红外线光吸收、反射或漫散射。
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200410055679.0-具有三晶片结构的微机电系统
不可售 已下证 PDF全文
申请人: 惠普开发有限公司 申请日: 2004-08-02 主分类号: B81B5/00 公开号: 1618722A 公开日: 2005-05-25 授权日: 2010-09-01 分类号: B81B5/00 ; B81B7/00
摘要: 一种微机电系统，包括第一晶片(30)，带有可移动的部分(50)的第二晶片(40)和第三晶片(20)。可移动的部分(50)在第一晶片(30)与第三晶片(20)之间可移动。第一晶片(30)，第二晶片(40)和第三晶片(20)被粘结在一起。
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01141039.6-微型机械结构
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申请人: 诺基亚技术有限公司 申请日: 2001-09-29 主分类号: B81B7/02 公开号: 1344670A 公开日: 2002-04-17 授权日: 2005-06-29 分类号: B81B7/02 ; B81B7/00
摘要: 本发明涉及包括可动元件的一种微型机械结构。具体地说,本发明涉及一种用于将这种可动元件与一种微电子机械系统(MEMS)的其他结构连接起来的结构。本发明的特征在于,该结构包括至少一个用于将该可动元件与固定结构连接起来的连接装置(930～936);和至少一个可允许在该可动元件与其他结构之间,在基本上与该可动元件的特征运动垂直的方向上的不同的热膨胀的挠性装置(980,990～996)。其特征还在于,所述连接装置和/或挠性装置,在该可动元件的特征运动方向上被增强。
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200380101228.X-微致动器装置及使用了该装置的光开关系统
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申请人: 株式会社尼康 申请日: 2003-10-08 主分类号: B81B3/00 公开号: 1703369A 公开日: 2005-11-30 授权日: 2008-07-09 分类号: B81B3/00 ; B81B7/04
摘要: 可动板(21)通过弹性部(27a、27b)被固定在基板(11)上，并且可以相对于基板(11)上下移动。基板(11)兼用作固定电极。可动板(21)具有：可以通过和基板(11)之间的电压而与基板(11)之间产生静电力的第二电极部(23a、23b)；以及被配置在磁场内通过通电产生洛伦兹力的电流路径(25)。进入及退出光路的反射镜(12)被设置在可动板(21)上。控制部，将可动板(21)从静电力增大的下侧位置向上侧位置移动时，对上述电流进行控制，以使在可动板(21)从中间位置向上侧位置移动的期间，向下生成上述洛伦兹力，且其逐渐减小。这样一来，不会产生高电压、不会对小型化产生破坏，可以扩大可动部的可动范围，且降低电力消耗，并且可以提高长期运转时的可靠性。
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200510059944.7-钢琴型微电子机械微镜的隔行阵列
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申请人: 朗美通运营有限责任公司 申请日: 2005-04-04 主分类号: B81B7/04 公开号: 1680186A 公开日: 2005-10-12 授权日: 2010-10-27 分类号: B81B7/04 ; B81B3/00
摘要: 本发明公开了一种用于光学转换开关的微电子机械(MEM)镜装置。”钢琴”型的MEM装置包括伸长的平台，该平台由扭转铰链枢接到所述MEM装置并邻近于所述MEM装置的中部。所述平台的中间部分和所述扭转铰链有一个组合宽度，该组合宽度小于所述平台的剩余部分的宽度，因此就能够使多个这样的”钢琴”型MEM装置的位置彼此邻近地枢接于相同的轴上而在它们之间仅有相对较小的空气缝隙。在本发明的一个优选实施例中，通过将两套倾斜平台隔行来将电极之间的间隔增加而并不影响镜的填充因数，因此两套倾斜平台的反射部分彼此邻近，而邻近平台的非反射部分彼此远离。
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201711204369.4-压力传感器封装件和包括压力传感器封装件的电子装置
不可售 无权失效 PDF全文
申请人: 森托斯有限公司 申请日: 2017-11-27 主分类号: B81B7/00 公开号: 109553060A 公开日: 2019-04-02 分类号: B81B3/00 ; B81B7/00
摘要: 根据本发明构思的实施例，提供一种可以设置在电子装置的内部空间中的压力传感器封装件。所述压力传感器封装件可以包括：基板，其中限定有孔；压力传感器，其设置在基板的一个表面上以覆盖所述孔，并且所述压力传感器包括膜；以及绝缘体，其设置在压力传感器上以覆盖所述膜的至少一部分。压力传感器设置为检测由流过所述孔的空气所引起的电子装置的内部空间的第一压力，并且通过绝缘体检测由施加到电子装置的外力所引起的第二压力。
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200410020675.9-一种电热驱动柔性微夾钳
不可售 无权失效 PDF全文
申请人: 大连理工大学 申请日: 2004-06-04 主分类号: B81B5/00 公开号: 1704329A 公开日: 2005-12-07 授权日: 2007-06-06 分类号: B81B5/00 ; B81B3/00
摘要: 本发明一种电热驱动柔性微夾钳，属于微机电系统领域中的微执行器类。电热驱动柔性微夾钳由驱动和钳体两部分组成，驱动部分为V形梁阵列。微夹钳钳体结构为一整体柔性结构，它由钳体固定部分、电极、柔性铰、柔性铰、连接杆、柔性铰、钳臂、夹持端、V形梁阵列、钳体中间上部、下部不同的几何形体构成，无需任何装配。钳体的中间上部由两个半圆环状通过三条筋板状结构相连并与杆状钳体中间下部相连，钳体的中间上部和中间下部可以改变为多种形状。这种微夾钳结构紧凑，控制简单，输出位移大，可用于微操作和微装配中。
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02150667.1-具有阶跃式结构的悬臂及其制造方法
不可售 无权失效 PDF全文
申请人: 三星电子株式会社 申请日: 2002-11-15 主分类号: B81B7/00 公开号: 1429762A 公开日: 2003-07-16 授权日: 2006-11-01 分类号: B81B7/00 ; B81B7/02
摘要: 本发明提供了一种具有阶跃式结构的悬臂及其制造方法。这种悬臂包括：一个衬底；一个形成于该衬底上的锚固件；和一块被连接在锚固件上同时保持与衬底的预定间隙的移动板，其中，所述锚固件包括有一个具有预定形状的第一锚固件和一个第二锚固件，该第二锚固件垂直于第一锚固件的一个边缘，并且沿所述移动板的纵轴成形。这种悬臂的形变量，比如由于制造过程中的高温高压导致的该悬臂的移动板的形变量明显减小。从而，这种悬臂的屈服率得以改善，并且采用这种悬臂的制品的可靠性也得以提高。
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