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201720645302.3-用于液体环境的原子力显微镜

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申请人: 苏州飞时曼精密仪器有限公司

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申请日: 2017-06-06 主分类号: G01Q60/24 公开号: 207301107U 公开日: 2018-05-01 授权日: 2018-05-01 分类号: G01Q10/00 ; G01Q10/06 ; G01Q60/24

摘要: 本实用新型公开了一种用于液体环境的原子力显微镜，包括：AFM主机、控制系统和计算机处理模块，所述AFM主机包括XY向扫描台、设置在所述XY向扫描台上的Z向扫描台、设置在所述Z向扫描台上的液体盒、设置在所述液体盒上的透明玻璃、设置在所述透明玻璃底部的探针定位块、设置在所述探针定位块上的探针及设置在所述透明玻璃上方的激光器、半透镜、反光镜和四象限探测器。本实用新型的用于液体环境检测的原子力显微镜，实现了在全液相环境下样品的扫描检测，本实用新型结构设计巧妙，消除了气体和液体的界面，避免了液体表面张力和液面抖动对微探针以及激光光路的影响，使激光在液体下对准更加简单，操作更加方便，检测结果更加准确。

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201720613253.5-磁‑电‑热多参量耦合显微镜探针

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申请人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所申请日: 2017-05-27 主分类号: G01Q70/08(2010.01) 公开号: 206848304U 公开日: 2018-01-05 授权日: 2018-01-05 分类号: G01Q70/08(2010.01) ; G01Q70/14(2010.01) ; G01Q70/16(2010.01) ; G01Q30/02(2010.01)

摘要: 本实用新型提供了一种磁‑电‑热多参量耦合显微镜探针，包括探针臂，以及与探针臂相连的针尖本体，自探针臂与针尖本体表面向外，依次覆盖着热电偶层、导热绝缘层以及磁性导电层；热电偶层与外部电路构成热电回路；磁性导电层与样品、外部电路构成导电回路。该探针结构简单、制备难度低，能够原位微区探测磁电功能材料的磁信号、电信号和热信号，并且能够有效避免热电回路与电回路之间的信号干扰。

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201820618691.5-一种无线控制式微小型原子力显微成像装置

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申请人: 浙江大学申请日: 2018-04-27 主分类号: G01Q60/24 公开号: 208060555U 公开日: 2018-11-06 授权日: 2018-11-06 分类号: G01Q60/24

摘要: 本实用新型公开了一种无线控制式微小型原子力显微成像装置。包括微小型原子力显微成像探头、微小型电路、嵌入式系统和手提电脑。微小型电路由前置放大模块、扫描与反馈控制电路、移动电源组成；嵌入式系统由DA模块、AD模块、树莓派微型电脑组成，本实用新型的优点是：原子力显微成像探头及装置系统整体微小型化，无需交流市电供电，也无需专用的直流低压电源和直流高压电源，在移动电源供电之下，通过WIFI无线数据传输方式，即可实现微纳米样品的原子力显微成像，克服了常规原子力显微镜的局限性，为在野外考察、隔离环境、真空条件、气体氛围环境等特殊领域中实现样品的原子力显微成像提供了新的技术及应用途径。

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201820988383.1-一种原子力显微镜用电解池及原子力显微镜

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申请人: 多氟多新能源科技有限公司

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申请日: 2018-06-25 主分类号: G01Q60/38 公开号: 208588757U 公开日: 2019-03-08 授权日: 2019-03-08 分类号: G01Q60/38

摘要: 本实用新型涉及一种原子力显微镜用电解池及原子力显微镜。该原子力显微镜用电解池包括电解池本体，还包括环形对电极和片状工作电极，电解池本体的侧壁的内壁面上设置有支撑结构，所述支撑结构具有在水平姿态下设置所述环形对电极的支撑面，片状工作电极平行间隔设置在环形对电极的下方，环形对电极的中心孔形成在电化学测试时供测试探针穿过的检测通道。该电解池利用支撑结构实现环形对电极与片状工作电极平行设置，在电化学检测时，探针穿过环形对电极的中心孔对工作电极的表面形貌进行观察，探针的移动不影响对电极的位置，可实现检测过程的有效、可靠进行，对电极的安装、拆卸方便，提高了原子力显微镜电化学原位表征的效率。

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201821017848.5-一种斜入射式原子束显微装置

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申请人: 金华职业技术学院申请日: 2018-06-16 主分类号: G01Q60/24 公开号: 208721707U 公开日: 2019-04-09 授权日: 2019-04-09 分类号: G01Q60/24

摘要: 本实用新型涉及对材料的显微技术领域，一种斜入射式原子束显微装置，包括储气罐、气管、由腔体I和腔体II连接成的真空腔体、喷射头、分流器、菲涅尔波带片I、小孔、菲涅尔波带片II、探测器、样品、样品台、位移台、计算机、抽气口I、真空泵组I、抽气口II，真空泵组II，小孔的中心位于喷射头出口中心与分流器入口中心的连线的延长线上，小孔位于菲涅尔波带片I和菲涅尔波带片II之间且孔径为10微米，原子束流依次通过分流器、菲涅尔波带片I、小孔、菲涅尔波带片II后射到样品表面，样品固定于样品台，样品台固定于位移台，样品表面与z轴呈45度角，探测器位于样品表面一侧、且原子入口与样品表面呈45度角，探测器探测被样品表面反射的原子。

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201821017655.X-一种分辨率快速可调的表面测试装置

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申请人: 金华职业技术学院申请日: 2018-06-16 主分类号: G01Q10/04 公开号: 208721706U 公开日: 2019-04-09 授权日: 2019-04-09 分类号: G01Q10/04

摘要: 本实用新型涉及对材料的显微技术领域，一种分辨率快速可调的表面测试装置，包括储气罐、气管、由腔体I和腔体II连接成的真空腔体、喷射头、驱动器I、分流器、驱动器II、准直孔径阵列、位移台、主孔径、探测器I、样品、样品台、计算机、探测器II、抽气口I、真空泵组I、抽气口II、真空泵组II，驱动器I固定于腔体I内并能使得喷射头三维移动，驱动器II固定于腔体I内并能使得分流器三维移动，主孔径具有内径为40微米的通孔，通孔中安装有用于原子束聚焦的波带片，位移台固定于腔体II内并连接准直孔径阵列，位移台能够使得准直孔径阵列在xy平面内平移；计算机通过探测器能够得到从样品表面反射的原子束流强度，并调整喷射头与分流器相对位置。

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201820326753.5-一种用于扫描隧道显微镜的信号检测装置

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申请人: 苏州飞时曼精密仪器有限公司

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申请日: 2018-03-12 主分类号: G01Q60/10 公开号: 208043855U 公开日: 2018-11-02 授权日: 2018-11-02 分类号: G01Q60/10

摘要: 一种用于扫描隧道显微镜的信号检测装置，属于扫描隧道显微镜技术领域；本实用新型为了解决现有产品对电磁信号干扰屏蔽不足，更换和剪切针尖过于麻烦，以及缺少侧面光学观察和定位装置等问题；本实用新型包括STM头部和观测装置，STM头部上开有容纳孔，容纳孔内嵌插有探针架，位于STM头部内的探针架上安装有探针，STM头部外部为金属屏蔽壳体；本实用新型极大的方便了扫描隧道显微镜的可操作性，提高了仪器的使用效率。

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201820428166.7-一种用于集成电路检测的工业型原子力显微镜

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申请人: 苏州飞时曼精密仪器有限公司

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申请日: 2018-03-28 主分类号: G01Q60/24 公开号: 208043856U 公开日: 2018-11-02 授权日: 2018-11-02 分类号: G01Q60/24

摘要: 本实用新型公开了一种用于集成电路检测的工业型原子力显微镜，包括主机、气动减震台、控制器和上位机软件；主机设置于气动减震台的屏蔽罩内部，并与控制器相连接，控制器与上位机软件通信连接；主机包括底座、手柄、支架、横梁、第一位移台、扫描台、吸盘、第二位移台、升降台、激光检测头、成像装置和探针座；本案涉及的原子力显微镜用于集成电路在线检测，可对大规模集成电路晶片进行大范围和快速三维形貌扫描成像，也可单独进行表面纵向轮廓扫描，具有纳米级的分辨率，扫描速度快、范围大、分辨率高、适用的样品尺寸大，最大可达300mm。

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201820674659.9-一种薄膜磁性测量装置

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申请人: 金华职业技术学院申请日: 2018-04-24 主分类号: G01Q60/24 公开号: 208568828U 公开日: 2019-03-01 授权日: 2019-03-01 分类号: G01Q60/24

摘要: 本实用新型涉及物理测量技术领域，一种薄膜磁性测量装置，包括激光器、延时器、1/4波片、凹透镜、凸透镜I、平面镜、偏振片、分束器、凸透镜II、透镜台、原子力显微镜、探针、透镜座、物镜、样品、波导、样品台、信号发生器、示波器、探测器、天线、锁相放大器、计算机、相敏检测器，所述激光器、延时器、1/4波片、凹透镜、凸透镜I、平面镜、偏振片、分束器、凸透镜II、透镜台、原子力显微镜、探针组成入射光路，采用高精度的定位装置来将激光束引导至样品表面的微型天线位置，获得样品表面纳米结构的磁光克尔信号，能够在天线位置处的金属样品表面附近产生更加局域化的增强的光近场，提高信号强度，增强样品表面磁光克尔信号，提高装置灵敏度。

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201520373128.2-超高真空自旋极化扫描隧道显微镜探针制备用的专用装置

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申请人: 潘明虎申请日: 2015-06-02 主分类号: G01Q60/16(2010.01) 公开号: 204882608U 公开日: 2015-12-16 授权日: 2015-12-16 分类号: G01Q60/16(2010.01) ; G01Q60/42(2010.01) ; G01Q70/18(2010.01)

摘要: 本实用新型涉及材料测试仪器领域，更确切地说涉及一种超高真空下进行自旋极化扫描探针显微镜探针的制备方法和装置。整个方案涉及到在超高真空中对扫描隧道显微镜探针的针尖进行高温处理，以求达到清洁针尖，去除针尖表面的氧化层。在此基础上，在针尖的顶端蒸镀几个原子层厚的磁性金属薄膜，以达到产生自旋极化电流的功能。

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