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申请人: 长春工业大学 申请日: 2017-10-22 主分类号: G03F7/00 公开号: 207301617U 公开日: 2018-05-01 授权日: 2018-05-01 分类号: G03F7/00 ; G03F7/16 ; G03F7/20

申请人: 陈凯 申请日: 1999-12-31 主分类号: G03F7/20 公开号: 2405247Y 公开日: 2000-11-08 授权日: 2000-11-08 分类号: G03F7/20 ; G03F7/26

申请人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 申请日: 2004-01-10 主分类号: G03F7/20 公开号: 2676244Y 公开日: 2005-02-02 授权日: 2005-02-02 分类号: G03F7/20 ; G03F7/00

申请人: 孙书琴 申请日: 1988-12-17 主分类号: G03F7/20 公开号: 88216405.8Y 公开日: 1990-02-21 授权日: 1990-02-21 分类号: G03F7/20 ; G03F7/22

申请人: 咸阳彩虹光电科技有限公司

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申请日: 2018-08-21 主分类号: G03F1/64 公开号: 208673039U 公开日: 2019-03-29 授权日: 2019-03-29 分类号: G03F1/64 ; G03F7/20

申请人: 中国科学院大连化学物理研究所 申请日: 2002-07-18 主分类号: G03F7/00 公开号: 2555525Y 公开日: 2003-06-11 授权日: 2003-06-11 分类号: G03F7/00 ; G03F7/20

申请人: 川宝科技股份有限公司

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申请日: 2002-10-09 主分类号: G03F7/20 公开号: 2578864Y 公开日: 2003-10-08 授权日: 2003-10-08 分类号: G03F7/20 ; G03F9/00

申请人: 长鑫存储技术有限公司

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申请日: 2018-08-06 主分类号: G03F7/20 公开号: 208689362U 公开日: 2019-04-02 授权日: 2019-04-02 分类号: G03F1/00 ; G03F7/20

申请人: 长鑫存储技术有限公司

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申请日: 2018-09-28 主分类号: G03F1/42 公开号: 208737212U 公开日: 2019-04-12 授权日: 2019-04-12 分类号: G03F1/42 ; G03F7/20

申请人: 长鑫存储技术有限公司

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申请日: 2018-09-07 主分类号: G03F1/72 公开号: 208588895U 公开日: 2019-03-08 授权日: 2019-03-08 分类号: G03F1/26 ; G03F1/72